高純液質(zhì)聯(lián)用氮?dú)獍l(fā)生器是利用高壓空氣在高精密度中空纖維膜分離柱中分離制得高純度氮?dú)獾膬x器。中空纖維膜分離柱中，纖維狀的膜材料組成的致密空間內(nèi)氮?dú)夂脱鯕夥肿拥耐ㄟ^(guò)性不同，高壓空氣通過(guò)膜材料時(shí)，在進(jìn)氣側(cè)和出氣側(cè)形成氮?dú)鉂舛炔睿し蛛x柱中多重膜材料的依次通過(guò)累計(jì)放大了這種濃度差，在膜分離柱的進(jìn)氣和出氣兩端表現(xiàn)出氮?dú)馀c空氣中其它氣體的分離，空氣經(jīng)過(guò)膜分離柱，得到了高純度的氮?dú)狻?div>　　高純液質(zhì)聯(lián)用氮?dú)獍l(fā)生器包括氮?dú)饩彌_系統(tǒng)、氮氧分離系統(tǒng)、空氣儲(chǔ)罐系統(tǒng)等。在這些系統(tǒng)中，氮氧分離系統(tǒng)是制氮設(shè)備的主要部件，由兩個(gè)交替工作的吸附塔和氣動(dòng)閥、節(jié)流閥、消音器等組成。根據(jù)碳分子篩對(duì)空氣中主要成分氧氣和氮?dú)獾奈剿俾什煌?，在液質(zhì)聯(lián)用專用氮?dú)獍l(fā)生器加壓吸附和降壓脫附過(guò)程中實(shí)現(xiàn)氮氧分離，而加壓吸附與降壓脫附過(guò)程由可編程控制器按一定程序控制電磁閥，并由電磁閥控制相應(yīng)的氣動(dòng)閥自動(dòng)運(yùn)行。